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高精度薄膜生产线的水平层流环境营造技术 [复制链接]

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本文为洁净与空调技术中“BSL-3实验室负压力自动调节系统设计探讨”文章

摘要

汽车反光膜、平板显示器、手机触摸屏等保护膜的制造和加工,其精度、纯度要求很严,通常都在洁净环境中生产。而且,这种洁净环境要求随着产品指标的提高而不断提高。原来在万级条件下的生产环境,现在普遍提高到千级,甚至百级。另一方面,考虑到薄膜生产过程的特殊性,常用的垂直送风形式直接套用,存在着不少弊端,已逐步被更节能、气流更合理的水平层流方式所取代。对此类生产环境的特点,通过成功的水平层流案例,介绍一种已申请实用新型专利的水平层流安装模块。

关键词洁净环境;垂直送风;垂直层流;水平层流;水平层流安装模块

0引言

在洁净度要求较高的场合,通常采用与地面垂直的百级层流(俗称垂直层流)的送风方式,典型的垂直气流形式参见图1。由图1可看出,FFU布置在薄膜生产线的上部,上送,下侧回,(要求更高的则必须采用上送下回气流形式)。参见图2中的气流A模式。

图1、垂直层流形式图

图2、垂直层流的气流模式

对于如图1所示的高等级薄膜加工这一类产品的生产环境,若仍然采用这种传统方式,明显存在一些缺陷和弊端,现将这些缺陷和弊端归纳如下:(参见图3和图4)

1)对于整条生产线,薄膜上表面和下表面保护气流不对称。

从图3可以看出,垂直的由上而下的平行气流,仅对薄膜生产过程中的上表面有洁净保护作用。而对薄膜的下表面及下部运动的薄膜洁净风无法直接吹到表面,因此很难或根本无法起到洁净保护作用。

图3气流不对称

2)因气流被横向的薄膜卷材所阻挡,整体流向发生明显变化。所以,很容易造成旋流多,死角多。难以提高洁净等级。参见图4。

图4卷材阻挡的气流变化

3)节能潜力有限,一次性投资及运行费用仍高。不仅自净时间大大缩短。而且,在相同体积空间内所使用的FFU数量可降低25%~35%。极大地降低了一次性投资和运行费用。参见5和图6。

图5水平层流的安装模块

图6水平层流的逆风层流形式

2专利技术介绍

如何克服上述弊端,最大程度地提高平行流(层流)的实际效能。我们考虑并开发了一种全新的水平层流安装模块。其基本方式是建立一种水平层流的高效过滤送风模式,从而可以实现洁净送风气流与薄膜产品的走向平行,使得所有的薄膜生产过程的暴露面均内得到很好的保护。通过在国内某项目上的实施应用。取得了很好的效果。不仅自净时间大大缩短。而且,在相同体积空间内所使用的FFU数量可降低25%~35%。极大地降低了一次性投资和运行费用。参见5和图6。

水平层流组合模块的构思特点和要点:

1)水平层流组合模块由框架、框架底座、PVC垫块、扣压板及收紧丝杆、螺母等所组成。

2)构思特点是建立一个水平层流组合模块用于现实项目之中。将水平层流的原理转变为切实可行的现实。参考(洁净室

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